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J-GLOBAL ID：200903086000162083
表面欠陥検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994220578
Publication number (International publication number)：1996086634
Application date： Sep. 14, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】1画面中で欠陥検出の出来る範囲が広く、かつ“ゆず肌”のような極めて薄い凹凸を欠陥と誤検出することなく、より精密な欠陥検出を行なえる表面欠陥検査装置を提供する。【構成】被検査面100に所定の明暗パターンを映し出す照明手段101と、被検査面を撮像して明暗パターンを電気信号の画像データに変換する撮像手段102と、撮像手段によって得られた画像データを処理して明暗パターンの明部と暗部の境界領域を識別する境界領域識別手段103と、画像データにおける周波数成分のうち高い周波数領域で、かつレベルが所定値以上の領域のみを抽出する画像強調手段104と、画像強調手段で抽出した領域のうち境界領域識別手段で識別した境界領域でない部分を欠陥として検出する欠陥検出手段105と、を備えた表面欠陥検査装置。
Claim (excerpt)：
被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査面に所定の明暗パターンを映し出す照明手段と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記画像データにおける周波数成分のうち低い周波数領域での明部と暗部の境界領域を識別する境界領域識別手段と、上記画像データにおける周波数成分のうち高い周波数領域で、かつレベルが所定値以上の領域のみを抽出する画像強調手段と、上記画像強調手段で抽出した領域のうち上記境界領域識別手段で識別した境界領域でない部分を欠陥として検出する欠陥検出手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2)：
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