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J-GLOBAL ID：200903086000592444
赤外線センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤島 洋一郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992094133
Publication number (International publication number)：1994213707
Application date： Apr. 14, 1992
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】 一対の赤外線感応膜のうち一方の赤外線感応膜への赤外線の入射を確実に防止し、2つの赤外線感応膜の差動出力により真の赤外線量を検出できるようにする。【構成】 架橋部34a、34bの上面には赤外線感応膜35、36が設けられている。シリコン基板31の裏面側に配設された蓋40により、被計測対象から放射された赤外線は一方の赤外線感応膜36に選択的に入射される。また、空洞部32、33の側壁面にはそれぞれ赤外線遮蔽膜としてのニッケル(Ni)膜46が形成され、空洞部33側に入射した赤外線の他方の赤外線感応膜35側への侵入を防止する。
Claim (excerpt)：
少なくとも一対の架橋部を有するセンサ基板と、前記架橋部の一方に形成された第1の赤外線感応膜と、前記架橋部の他方に形成された前記第1の赤外線感応膜と同一構成の第2の赤外線感応膜と、被計測対象から放射された赤外線を前記第1の赤外線感応膜へ選択的に入射させる赤外線選択入射手段と、前記架橋部各々の下部の空洞部の互いに異なる赤外線感応膜側の側壁に設けられ、前記第1の赤外線感応膜側に入射した赤外線の前記第2の赤外線感応膜側への侵入を防止する赤外線遮蔽膜とを備えたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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