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J-GLOBAL ID：200903086000775085
印刷されたマークの検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993112839
Publication number (International publication number)：1994323825
Application date： May. 14, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 半導体デバイスの表面に印刷されたマークを容易に、且つ正確に検査することができる印刷されたマークの検査装置を得る。【構成】 印刷されたマークを標本画像及び試料画像として撮像するテレビカメラ1と、テレビカメラ1より得られる前記標本画像に対する前記試料画像の傾き角度を検出するCPU10と、CPU10の検出傾き角度に基づいて試料画像と標本画像との傾き角度を修正して一致させるアドレス修正器13と、アドレス修正器13により傾き角度が修正された標本画像と試料画像とを比較処理することにより前記印刷されたマークの異常を判断する判断手段14〜18とを備えた。
Claim (excerpt)：
印刷されたマークを標本画像及び試料画像として撮像する撮像手段と、前記撮像手段より得られる前記標本画像に対する前記試料画像の傾き角度を検出する角度検出手段と、前記角度検出手段の検出傾き角度に基づいて前記試料画像と前記標本画像との傾き角度を修正して一致させる角度修正手段と、前記角度修正手段により傾き角度が修正された前記標本画像と前記試料画像とを比較処理することにより前記印刷されたマークの異常を判断する判断手段と、を備えたことを特徴とする印刷されたマークの検査装置。
IPC (2)：
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