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J-GLOBAL ID：200903086011535205

新規な(メタ)アクリル酸エステル、新規なノルボルネン誘導体、およびそれらから誘導される新規なポリマー

Inventor： 西口 貴広 ,  茶本 茂廊 ,  森川 敏行
Applicant, Patent owner： ヤスハラケミカル株式会社
Agent (1)： 白井 重隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999164474
Publication number (International publication number)：2000351812
Application date： Jun. 10, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高解像度付与性、耐ドライエッチング性、レジストの透明性、基板などとの密着性などの性能を向上させた高性能フォトレジストの材料を提供すること。【解決手段】 3-オキソ-8-ターピニル(メタ)アクリレート、3-オキソ-8-ターピニルオキシカルボニルノルボルネン等の新規な(メタ)アクリル酸エステル、および新規なノルボルネン誘導体の少なくとも1種を、分子中に構成単位として含む新規なポリマー。

Claim (excerpt)：

下記一般式1で表される新規な(メタ)アクリル酸エステル。【化1】(上記式中、R1 およびR2 は同一または異なり、互いに結合し、環状構造を形成する炭素数1〜20の直鎖状または分岐状のアルキル基を表す。R3 およびR6 は炭素数1〜20のアルキル基または水素原子を表す。R4 およびR5 は同一または異なり、互いに独立または結合した炭素数1〜20のアルキル基を表す。R7 は炭素数1〜20のアルキル基を表す。X1 はメチル基または水素原子を表す。)

IPC (5)：

C08F 20/28 ,  C07C 69/54 ,  C08F 32/04 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (5)：

C08F 20/28 ,  C07C 69/54 Z ,  C08F 32/04 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (45)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006AB76 ,  4H006AC24 ,  4H006AC48 ,  4H006BA51 ,  4H006BA92 ,  4H006BA94 ,  4H006BJ30 ,  4H006BT12 ,  4H006FC36 ,  4H006FC74 ,  4H006KA14 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AR11P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC09Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA38