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J-GLOBAL ID：200903086011700001

単色化電子線源およびその製造方法

Inventor： 岡本 政邦 ,  大嶋 卓 ,  中川 清和 ,  西山 英利 ,  奥山 裕 ,  近藤 正彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993221670
Publication number (International publication number)：1995078581
Application date： Sep. 07, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電子線装置に用いられる電子線源において、構造が単純で製作が容易であり、それでいて、エネルギー幅の極めて狭い電子線を発生する単色化電子線源を実現する。【構成】 針状の導電体1の表面に膜厚が電子波の浸透長程度の被覆膜2を設け、陽極4との間に電源5により電圧を印加することによって、被覆膜2の障壁井戸層2′の中に生じる量子準位7を介して、共鳴トンネル現象により電子3を真空6中に放出する。

Claim (excerpt)：

陰極である導電体の表面に少なくとも一層の被覆膜があり、対向する電極の陽極に対して負の電圧を印加することにより、該被覆膜の少なくとも一層に電場勾配によるポテンシャルの三角形状の障壁井戸層が形成され、かつ、該障壁井戸層の中に量子準位を生じ、該量子準位を介して電子を放出することを特徴とする単色化電子線源。

IPC (3)：

H01J 37/073 ,  H01J 1/30 ,  H01L 21/263