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J-GLOBAL ID：200903086029581352

光触針利用による表面測定方法および装置

Inventor： 安田 享祐
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 菅 隆彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098125
Publication number (International publication number)：1994307839
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】光触針装置を利用して被測定試料の測定対象表面の被測定点における垂直方向の表面粗さ情報のみならず各種の光学的特性をも同時に或いは個別に測定可能な光触針利用による表面測定方法および装置を提供する。【構成】被測定試料4の測定対象表面4aの被測定点4bに照射光Liを照射し、当該被測定点4bからの反射光Lrを、当該被測定試料4の測定対象表面4aから焦点距離Dだけ離れた位置に配置した対物凸レンズ3で集光して所定の角度に配設された三角プリズム5に入射させ、当該三角プリズム5からの出射光を出射面5bに対面した複数の光センサ6a,6bにより被測定点4b毎にそれぞれ独立並行して検出した後、当該複数の光センサ6a,6bにて検出されたそれぞれの光強度の和を、前記被測定点4bの反射率として検出したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被測定試料の測定対象表面の被測定点に照射光を照射し、当該被測定点からの反射光を、当該被測定試料の測定対象表面から焦点距離だけ離れた位置に配置した対物レンズを通して所定の角度に配設されたプリズムに入射させ、当該プリズムからの出射光を出射面に対面した複数の光強度検出手段により前記被測定点毎にそれぞれ独立並行して検出した後、当該複数の光強度検出手段にて検出されたそれぞれの光強度の和を、前記被測定点の反射率として検出したことを特徴とする光触針利用による表面測定方法。