走査型光学顕微鏡の走査直線性補正方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996007152
Publication number (International publication number)：1997197280
Application date： Jan. 19, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、試料の正確な形状を再現でき、しかも構成が簡単で、検出精度の向上を実現できる走査型光学顕微鏡の走査直線性補正方法を提供する。【解決手段】事前に1画素幅の反射部を1画素幅の間隔に形成した1次元格子30に対しX方向スキャナによりスキャンされる照明光により得られる測定データをサンプリング回路13に取り込み、これを所定のサンプリングクロックを用いてA/D変換回路21によりA/D変換するとともに、このA/D変換された反射部の幅に応じたデータ間隔をクロック数で測定し、該測定結果からX方向スキャナの直線性誤差を考慮したサンプリングクロックデータを生成してメモリ回路22に記憶しておき、このメモリ回路22に記憶されたサンプリングクロックデータを、その後の試料からの測定データに対するサンプリングクロックとして使用する。

Claim (excerpt)：

1画素幅の目盛線を1画素幅の間隔に形成した1次元格子に対しスキャナ手段によりスキャンされる照明光により得られる測定データを所定のサンプリングクロックを用いてA/D変換するとともに、該A/D変換されたデータより格子間隔をクロック数で測定し、該測定結果から前記スキャナ手段の直線性誤差を考慮したサンプリングクロックデータを生成して記憶手段に記憶しておき、該記憶手段に記憶されたサンプリングクロックデータを、試料からの測定データに対するサンプリングクロックとして使用することを特徴とする走査型光学顕微鏡の走査直線性補正方法。

IPC (2)：

G02B 21/00 , H04N 1/04 101

FI (2)：

G02B 21/00 , H04N 1/04 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

共焦点レーザー顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-316023 Applicant：小池精機株式会社
特開昭57-138615

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