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J-GLOBAL ID:200903086040659665

表面検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 猪股 祥晃
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994096143
Publication number (International publication number):1995306159
Application date: May. 10, 1994
Publication date: Nov. 21, 1995
Summary:
【要約】【目的】検査対象物のレーザ光の反射位置と角度が変動しても、容易且つ確実に表面の欠陥部を検出することができる表面欠陥装置を得る。【構成】レーザスキャナから冷間圧延鋼板の表面に照射されて反射され、シリンドリカルレンズ3を透過して入射するライトガイド4の入射面に平面4aを形成する。シリンドリカルレンズ3を透過してライトガイド4の平面4aに入射されたレーザ光Z2は、屈折して互いに交差することなく、拡散反射部6に入射される。
Claim (excerpt):
搬送される被検査シートに対し搬送方向と直交方向にレーザ光を照射するレーザスキャナと、前記被検査シートから反射された前記レーザ光を平坦な入射面を介して受光する受光部と、この受光部を透過し入射した前記レーザ光を反射して、このレーザ光を電気信号に変換するホトマルチプレイヤに伝送する拡散反射部とからなる表面検査装置。
IPC (2):
G01N 21/89 ,  G01B 11/30

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