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J-GLOBAL ID：200903086041895486

マイクロミラー装置

Inventor： 鈴木 賢治
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小林 和憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996041265
Publication number (International publication number)：1997230257
Application date： Feb. 28, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 各マイクロミラーの間に形成された隙間に入射した光によるフレアが発生しないようにする。【解決手段】 シリコン基板4a上に、複数のマイクロミラー20a,20bが静電気力によって傾斜可能に配置されている。各マイクロミラー20a,20bの間には、隙間8が形成されている。この隙間8の下方にあるシリコン基板4aの一部には、斜面21が形成されている。隙間8から入射した照明光L1,L2は、各斜面21によってマイクロミラー20a,20bの裏面に向けて反射される。これらのマイクロミラー20a,20bとシリコン基板4aとの間で、照明光L1,L2が複数回反射され、減光・吸収される。

Claim (excerpt)：

傾斜が制御可能な複数のマイクロミラーを基板上に配列したマイクロミラー装置において、各マイクロミラー間の隙間に入射した光が、前記基板で反射されてから再び隙間を通って射出しないようにするための遮光手段を設けたことを特徴とするマイクロミラー装置。