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J-GLOBAL ID：200903086052674104
クリーンルーム用防振架台
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
今岡 良夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998056019
Publication number (International publication number)：1999241489
Application date： Feb. 20, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：
【要約】【課題】床構造のモジュール寸法に適合した防振架台であって、機種の変更や配置計画の見直にもこれに相応して容易に位置替えでき、かつ、トラブル発生の際等にも簡単に取り外し、交換等でき、また、クリーンルームで嫌うゴミの発生や水を使う作業等を伴わずに振動増幅を抑えることができる簡潔な防振架台を提供しようとするものである。【解決手段】床のモジュール寸法に適合した枠体2の上面に定盤3を、また、下面に裏板4をそれぞれ貼着し、その定盤3の内面に振動減衰材5を付設して防振架台本体1を形成し、該防振架台本体の縁部乃至コーナー部に適数のレベル調整装置6と締結装置7を配備させた。そして、上記振動減衰材5として、ウレタン樹脂を主成分とする制振ゲルを用いた。
Claim (excerpt)：
床のモジュール寸法に適合した枠体2の上面に定盤3を、また、下面に裏板4をそれぞれ貼着し、その定盤3の内面に振動減衰材5を付設して防振架台本体1を形成し、該防振架台本体の縁部乃至コーナー部に適数のレベル調整装置6と締結装置7を配備させたことを特徴とするクリーンルーム用防振架台。
Patent cited by the Patent：
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