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J-GLOBAL ID：200903086075611789

磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスク

Inventor： 増田 裕之
Applicant, Patent owner： 旭テクノグラス株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998322421
Publication number (International publication number)：2000149249
Application date： Nov. 12, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 化学強化処理後のガラス基板の強度や平面性を、表面性の改善した磁気ディスク用ガラス基板とその製造方法、及びこれを用いた磁気ディスクを提供する【解決手段】 ガラス基板を溶融塩に浸漬して化学強化処理することによって生じた基板表面の凹凸を、スクラブ洗浄処理を行って除去することによって、基板の反りや平面度低下させることなく、また基板の強度を実質的に低下させることなく平滑化する。

Claim (excerpt)：

ガラス素材をガラス基板に成形する工程と、前記ガラス基板の表面を研磨加工する工程と、表面研磨された前記基板を溶融塩に浸漬してイオン交換による化学強化処理を行う工程と、前記化学強化処理後の前記ガラス基板表面の凹凸を除去するようにスクラブ洗浄処理を行うことにより前記基板表面のRaを1nm未満、Ryを10nm未満、且つ平面度を5μm未満にする工程とを有することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。

IPC (2)：

G11B 5/84 ,  G11B 5/73

FI (2)：

G11B 5/84 A ,  G11B 5/704

F-Term (11)：

5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA05 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112GA02 ,  5D112GA08 ,  5D112GA09 ,  5D112GA28