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J-GLOBAL ID：200903086081339411
紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武田 正彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991299997
Publication number (International publication number)：1993058668
Application date： Aug. 31, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：
【要約】[目的] エキシマレーザーに代表される紫外線レーザーを光源とする光学系を構成する光学部材において、強い紫外線照射に対しても十分な安定性を有し、紫外線透過率の低下が少ない合成石英ガラス光学部材を提供する。[構成] 紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材であって、その合成石英ガラスが、100ppm以下のOH基及び200ppm以下の塩素を含有するものである。
Claim (excerpt)：
合成石英ガラスが、100ppm以下のOH基の含有量及び200ppm以下の塩素の含有量を有するものであることを特徴とする紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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