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J-GLOBAL ID：200903086101024030

濃厚テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液

Inventor： 見神 一郎 ,  野仲 徹
Applicant, Patent owner： 株式会社トクヤマ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996329746
Publication number (International publication number)：1998171128
Application date： Dec. 10, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】含有する界面活性剤が遊離しておらず、濡れ性、消泡効果が良好な現像液が希釈して得られる現像原液を開発すること。【解決手段】テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドを5〜12重量%含有してなり、該テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド100重量部に対して下記式(I)【化1】(但し、R1及びR2は各々炭素数1〜5のアルキル基であり、好ましくはR1がイソブチル基でありR2がメチル基であり、EOはエチレンオキシド基であり、nとmの各平均値の合計は1〜5である。)で示されるアセチレンアルコール系界面活性剤を0.8〜5重量部含有してなる濃厚テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液。

Claim (excerpt)：

テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドを5〜12重量%含有してなり、該テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド100重量部に対して下記式(I)【化1】(但し、R1及びR2は各々炭素数1〜5のアルキル基であり、EOはエチレンオキシド基であり、nとmの各平均値の合計は1〜5である。)で示されるアセチレンアルコール系界面活性剤を0.8〜5重量部含有してなる濃厚テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液。

IPC (4)：

G03F 7/32 501 ,  C07C 43/14 ,  C07C211/62 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/32 501 ,  C07C 43/14 ,  C07C211/62 ,  H01L 21/30 569 E