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J-GLOBAL ID：200903086109239515

放電反応装置

Inventor： 神谷 一郎 ,  新荘 良一 ,  村上 武司 ,  西岡 由紀子 ,  原田 稔
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993120869
Publication number (International publication number)：1994093440
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 放電に耐え得る硬度に保ち、電極の消耗を極限まで減少させ、安定した性能を長期間に渡って可能にすると共に、反応生成物が有害物質により汚染されることのないクリーンな反応生成物を生成できる放電反応装置を提供する。【構成】 高圧電極3と接地電極4の間に誘電体2を介在させ、誘電体2と高圧電極3及び/又は接地電極4の間に無声放電及び/又は沿面放電を発生させ、放電空間1内で、放電空間1内を通過又は該放電空間1内に保有する物質を反応させる放電反応装置において、放電空間1内の放電に接する部分の電極材料に高度に精製された高純度アルミニウム材を用い、更に少なくとも放電空間1内の放電に接する部分の範囲で陽極酸化処理膜で被覆した。

Claim (excerpt)：

高圧電極と接地電極の間に誘電体を介在させ、該誘電体と前記高圧電極及び/又は前記接地電極の間に無声放電及び/又は沿面放電を発生させ、該放電空間内で、該放電空間内を通過又は該放電空間内に保有する物質を反応させる放電反応装置において、少なくとも前記放電域内の放電に接する部分の電極材料に99.5重量%以上に精製された高純度アルミニウム材を用い、更に少なくとも前記放電域内の放電に接する部分に陽極酸化処理膜で被覆したことを特徴とする放電反応装置。

IPC (4)：

C23C 14/34 ,  B01J 19/08 ,  C01B 13/11 ,  H01T 19/00