Pat

J-GLOBAL ID：200903086114660091

ガスバリヤー性透明電極フィルム

Inventor： 福田 伸 ,  福田 信弘 ,  竹藤 安男
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992332002
Publication number (International publication number)：1994179962
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ポリエーテルスルフォンやポリエーテルエーテルケトン等の高分子フィルム基材に対して、少なくとも有機珪素化合物ガスと酸素を原料としたプラズマCVD法により作成した酸化珪素層と透明導電層とが適宜積層され、かつ、酸化珪素層の外側にシリコン樹脂層が積層されてなるガスバリヤー性透明電極フィルム。【効果】 水蒸気や酸素を避けなければならない液晶表示素子への応用に適した、透明性ならびに可撓性、耐摩耗性、高ガスバリヤー性を持つ透明電極フィルムが提供される。

Claim (excerpt)：

透明導電層と酸化珪素層とが、透明高分子フィルム基材に積層されて成る透明導電性フィルムの少なくとも片面にさらにシリコン樹脂層が積層されてなるガスバリヤー性透明電極フィルム。

IPC (4)：

C23C 14/12 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/04 ,  C23C 16/30