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J-GLOBAL ID：200903086137153588

薄膜変位素子及びそれを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置

Inventor： 鈴木 義勇 ,  川崎 岳彦 ,  山本 敬介 ,  河田 春紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992315547
Publication number (International publication number)：1994147884
Application date： Nov. 02, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 積層数の少ないユニモルフ構造の薄膜変位素子において基板面と垂直方向の変位に加えて基板面と平行方向の変位を実現することにある。【構成】 薄膜圧電体、薄膜電極及び弾性体を有する薄膜変位素子において、一端を基板に固定された基部カンチレバー状変位体9の先端に、該基部カンチレバーの長さ方向と直交する枝部カンチレバー状変位体11を設け、かつ該枝部カンチレバーの根元付近を湾曲10させ、枝部カンチレバーの長さ方向を基板面と直交させたものである。

Claim (excerpt)：

薄膜圧電体、薄膜電極及び弾性体を有する薄膜変位素子において、一端を基板に固定された基部カンチレバー状変位体の先端に、該基部カンチレバーの長さ方向と直交する枝部カンチレバー状変位体を有し、かつ該枝部カンチレバーの根元付近の湾曲により、枝部カンチレバーの長さ方向が基板面と垂直方向であることを特徴とする薄膜変位素子。

IPC (4)：

G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 41/09