走査型プローブ顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994051738
Publication number (International publication number)：1995260803
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】試料に損傷を与えることなく、かつ、走査型プローブ顕微鏡の部品への熱的影響が少ない状態で、汚染物質の悪影響を排除することのできる走査型プローブ顕微鏡を実現することを目的とする。【構成】プローブ電極を試料に対して相対的に2次元走査した際に、該プローブ電極と試料との間に物理的相互作用により生じる信号を利用して該試料を観察する走査型プローブ顕微鏡において、試料を局所的に加熱する加熱手段を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

プローブ電極を試料に対して相対的に2次元走査した際に、該プローブ電極と試料との間に物理的相互作用により生じる信号を利用して該試料を観察する走査型プローブ顕微鏡において、試料を局所的に加熱する加熱手段を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/20 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-287246
特開平3-098244
特開平4-326007

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