放電の始動方法、この始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：清水善▲廣▼ , 阿部伸一 , 辻田幸史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002381480
Publication number (International publication number)：2004209373
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】放電始動時又は再始動時に、プラズマを容易に発生させることができる放電の始動方法、この放電の始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置を提供すること。【解決手段】管状の細長い反応流路の外周から溢流することによって前記反応流路中に一様な水膜を作り、気中にある高圧電極と水膜中にある接地電極との間に放電を起こさせる放電の始動方法であって、放電の開始時又は再点弧時に、前記高圧電極と前記反応流路内の水膜中にある接地電極との間に、一旦電解液による低抵抗の電流路を形成した後に、この電解液の供給を停止して、前記高圧電極と接地電極との間の電流路を遮断することによって、所定長さの放電の開始または再点弧を行わせることを特徴とする放電の始動方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

管状の細長い反応流路の外周から溢流することによって前記反応流路中に一様な水膜を作り、気中にある高圧電極と水膜中にある接地電極との間に放電を起こさせる放電の始動方法であって、放電の開始時又は再点弧時に、前記高圧電極と前記反応流路内の水膜中にある接地電極との間に、一旦電解液による低抵抗の電流路を形成した後に、この電解液の供給を停止して、前記高圧電極と接地電極との間の電流路を遮断することによって、所定長さの放電の開始または再点弧を行わせることを特徴とする放電の始動方法。

IPC (6)：

B01D53/70 , B01D53/68 , B01J19/08 , H01L21/3065 , H05H1/32 , H05H1/42

FI (6)：

B01D53/34 134E , B01J19/08 E , H05H1/32 , H05H1/42 , H01L21/302 101G , B01D53/34 134C

F-Term (33)：

4D002AA01 , 4D002AA21 , 4D002AA22 , 4D002AC10 , 4D002BA02 , 4D002BA07 , 4D002CA04 , 4D002DA35 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075BB04 , 4G075BD13 , 4G075BD22 , 4G075BD26 , 4G075CA17 , 4G075CA47 , 4G075CA51 , 4G075DA02 , 4G075EB21 , 4G075EC21 , 5F004AA16 , 5F004BA20 , 5F004BB32 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA05 , 5F004DA06 , 5F004DA07 , 5F004DA08 , 5F004DA14 , 5F004DA15 , 5F004DA16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

被処理物の分解処理装置および分解処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-307699 Applicant：日立造船株式会社

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