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J-GLOBAL ID：200903086187533101

目視アライメントマークおよびアライメント方法

Inventor： 内田 登 ,  近藤 高行
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 鈴木 敏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992102946
Publication number (International publication number)：1993299317
Application date： Apr. 22, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 目視でマスクをマニュアル操作して、ターゲットに合わせ込むアライメントマークおよびアライメント方法において、1回の操作で全方向的に合わせ込みができるようにするものである。【構成】 同心円形のパターンを有するアライメントマーク6および7をそれぞれマスク8およびターゲット9に設け、このマスク8およびターゲット9をX,Y方向に移動させて合わせ込みするものである。

Claim (excerpt)：

目視でマスクをマニュアル操作して、ターゲットに合わせ込むアライメントマークにおいて、同心円形のパターンを有するアライメントマークをマスタおよびターゲットに設けたことを特徴とする目視アライメントマーク。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  B41M 5/00 ,  H01L 21/68