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J-GLOBAL ID：200903086189473653

光ディスク対物レンズの傾き測定装置及び傾き調整装置

Inventor： 大橋 勝樹 ,  築田 隆広
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994289460
Publication number (International publication number)：1995201045
Application date： Nov. 24, 1994
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、対物レンズの傾きの測定感度を向上できるとともに測定時に必要な焦点調整も容易にする。【構成】LD投光機(8) から出射されたレーザ光を、輪帯フィルタ(13)を通して対物レンズ(5) に導き、その集光されたビームスポットを補正板(7) を透過させ、このとき現われる±n次回折光を顕微鏡(15)により拡大して撮像する。このように輪帯フィルタ(13)を透過することにより、対物レンズ(5) の傾きにより生じる0次回折光に対する±1次回折光の偏りが強調される。

Claim (excerpt)：

光源から出射された光を集光して光ディスクに照射する光ディスク対物レンズの傾き測定装置において、前記光源から前記対物レンズに至る光路上に配置され、前記対物レンズの前記光ディスクに対する光学上の傾きにより生じる回折光の偏りを強調するフィルタと、前記対物レンズにより集光されたビームスポットを撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像されたビームスポットの画像データから前記光ディスク対物レンズの傾きを求める傾き測定手段と、を具備したことを特徴とする光ディスク対物レンズの傾き測定装置。

IPC (2)：

G11B 7/08 ,  G11B 7/16