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J-GLOBAL ID：200903086251732288

微細表面形状計測評価装置

Inventor： 福地 康彦 ,  橋本 昭 ,  五十嵐 照夫 ,  長沢 潔 ,  村山 健 ,  森本 高史
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992151391
Publication number (International publication number)：1993322554
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 微細表面形状計測評価装置において、表面に微細な同一パターンを多数有する試料の表面形状の測定を、高い分解能の精度でかつ極めて短い測定時間で行い、絶縁体部分での測定も可能とする。【構成】 原子間力顕微鏡で、複数の同じパターン9aを有する試料9のパターンをすべて計測評価する装置であり、原子間力顕微鏡の測定部ユニット21をパターンの数と同数備え、各パターンに対応する位置に配設した測定部ユニット部材1と、各測定部ユニット1の取付け位置を独立して調整する取付け位置調整装置23と、測定部ユニットの探針24を、共通に走査動作させる走査装置10と、試料表面と測定部ユニットの探針の間隔を、独立に制御する並列処理型サーボ制御装置10と、測定部ユニットで得られる測定信号を処理する並列処理型データ処理装置12から構成される。測定ユニット部材は、各種試料に対応して複数の種類が用意され、装置本体に着脱自在である。

Claim (excerpt)：

原子間力顕微鏡を用いて試料の表面の微細形状を計測し評価する装置であり、表面に複数の同じパターンを有する試料の前記パターンのそれぞれをすべて計測評価する前記装置において、前記原子間力顕微鏡の測定部ユニットを前記パターンの数と同数備え、前記複数の測定部ユニットを前記パターンのそれぞれに対応する位置に配設した測定部ユニット部材と、前記複数の測定部ユニットのそれぞれに対応して設けられ、前記各測定部ユニットの取付け位置を独立して調整するための取付け位置調整装置と、前記複数の測定部ユニットのそれぞれに含まれる探針を、共通に走査動作させるための走査装置と、前記試料の表面と前記複数の測定部ユニットのそれぞれに含まれる探針との間隔を、それぞれ独立にサーボ制御する並列処理型サーボ制御装置と、前記複数の測定部ユニットのそれぞれで得られる測定信号を処理する並列処理型データ処理装置と、を備えることを特徴とする微細表面形状計測評価装置。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28