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J-GLOBAL ID：200903086278904692

ポジ型感光性組成物

Inventor： 藤森 亨
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002065444
Publication number (International publication number)：2003262952
Application date： Mar. 11, 2002
Publication date： Sep. 19, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 現像欠陥の発生を低減したポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)一般式(1)で示されるモノマーから得られる特定のフルオロ脂肪族基含有重合体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。一般式(1)においてR1は水素原子またはメチル基を表し、Xは酸素原子、イオウ原子または-N(R2)-を表し、mは1以上6以下の整数、nは2〜4の整数を表す。R2は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)下記一般式(1)で表されるモノマーに由来する繰り返し単位を含有するフルオロ脂肪族基含有重合体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】一般式(1)においてR1は水素原子またはメチル基を表し、Xは酸素原子、イオウ原子または-N(R2)-を表し、mは1以上6以下の整数、nは2〜4の整数を表す。R2は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。

IPC (9)：

G03F 7/004 504 ,  C08F 20/22 ,  C08F 20/38 ,  C08F 20/54 ,  C08F 20/68 ,  C08F 20/70 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (9)：

G03F 7/004 504 ,  C08F 20/22 ,  C08F 20/38 ,  C08F 20/54 ,  C08F 20/68 ,  C08F 20/70 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (19)：

2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AM19P ,  4J100AM21P ,  4J100BA01P ,  4J100BB10P ,  4J100BB18P ,  4J100JA37