Pat
J-GLOBAL ID：200903086285811942
回転式基板処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福島 祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996313240
Publication number (International publication number)：1998151401
Application date： Nov. 25, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：
【要約】【課題】 工場の排気用力設備の仕様を変更することなくカップからの排気能力を増加させることが可能な回転式基板処理装置を提供する。【解決手段】 カップ4の下部の排気口4cに接続される第1の排気経路6に加え、カップ4の開口部4aから漏れ出たカップ4内の気体を吸引して排出する第2の排気経路10を設ける。第2の排気経路10の上流端には、カップ4の外周に沿って環状に形成された吸気口12が配置され、吸気口12に連通する排気管路15には排気ファン16が設けられている。第1の排気経路6と第2の排気経路10とはそれぞれ異なる用力接続口19,20に接続される。
Claim (excerpt)：
基板を水平姿勢で保持して回転する基板保持部の周囲を取り囲みかつ上部開口部および排気口を有する中空のカップと、前記カップの排気口から外部に設けられた排気手段に排気を導く第1の排気経路とを備えた回転式基板処理装置において、前記カップの外方における前記上部開口部の近傍に配設された吸気口を有し、前記カップの前記上部開口部から他の排気手段に排気を導く第2の排気経路をさらに備えたことを特徴とする回転式基板処理装置。
IPC (4)：
B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
B05C 11/08
, B05D 1/40 A
, G03F 7/16 502
, H01L 21/30 564 C
