プラズマ発生電極用成形体及びその成形方法、並びにプラズマ発生電極

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：渡邉一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003423556
Publication number (International publication number)：2005177644
Application date： Dec. 19, 2003
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：

【課題】生産性が高く、均一かつ安定なプラズマを発生させることが可能であるとともに、温度変化や高圧の電圧負荷による電極の破損を有効に防止し得る耐熱性に優れたプラズマ発生電極用成形体及びその成形方法、並びにプラズマ発生電極を提供する。【解決手段】平板部6の表面に櫛形状に突条部2が配設された誘電材料からなる第一の成形部材10の裏面と、平板状の誘電材料からなる第二の成形部材12との間に、導電体からなる導電膜20を介在させて圧着・一体化することにより、導電膜20が埋設された構造を有し、且つ第一の成形部材10の平板部6と突条部2とが、一体成形されたプラズマ発生電極用成形体15である。前記成形体15同士を積層し、得られた積層体の最上面に導電膜が埋設された平板状の成形体30を載置した後、焼成・一体化することによりプラズマ発生電極40を得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

平板部の表面に櫛形状に突条部が配設された誘電材料からなる第一の成形部材の裏面と、平板状の誘電材料からなる第二の成形部材との間に、導電体からなる導電膜を介在させて圧着・一体化することにより、前記導電膜が埋設された構造を有し、且つ前記第一の成形部材の平板部と突条部とが、一体成形されたものであるプラズマ発生電極用成形体。

IPC (2)：

B01J19/08 , H05H1/24

FI (3)：

B01J19/08 E , H05H1/24 , B01D53/34 129C

F-Term (14)：

4D002AA08 , 4D002AA12 , 4D002AA40 , 4D002BA07 , 4D002HA10 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075EC21 , 4G075FA05 , 4G075FA12 , 4G075FC11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

プラズマ排気ガス処理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-351382 Applicant：三菱自動車工業株式会社

Cited by examiner (6)

プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-253501 Applicant：富士通株式会社
プラズマ表示装置用基板及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-093467 Applicant：京セラ株式会社
ガス放電型表示装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-086456 Applicant：松下電器産業株式会社

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