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J-GLOBAL ID：200903086331755904

マイクロバルブおよびその製造方法

Inventor： 高山 美知雄
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002081798
Publication number (International publication number)：2003275999
Application date： Mar. 22, 2002
Publication date： Sep. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】リークが少なく、流路の集積度が高いマイクロバルブを提供する。【解決手段】マイクロバルブは、基礎基板110と、基礎基板110に設けられた流路111と、流路111の内壁112,113,114の一部を形成しているダイアフラムシート101と、ダイアフラムシート101を流路111の内側に向かって膨らませて流路111の内壁に押しつけ、ダイアフラムシート101に流路111を塞がせる駆動手段とを備えている。ダイアフラムシート101は、膨らんだときの伸び分布をダイアフラムシート101にわたって有している。この伸び分布は、ダイアフラムシート101が膨らんで流路111の内壁に押しつけられたときに、ダイアフラムシート101がこの押しつけられた内壁の形状に適合するよう、設定されている。

Claim (excerpt)：

基礎基板と、この基礎基板に設けられた流路と、この流路の内壁の一部を形成しているダイアフラムシートと、このダイアフラムシートを上記流路の内側に向かって膨らませて流路の内壁に押しつけ、ダイアフラムシートに流路を塞がせる駆動手段と、を備えており、上記ダイアフラムシートは、膨らんだときの伸び分布をダイアフラムシートにわたって有しており、この伸び分布は、ダイアフラムシートが膨らんで流路の内壁に押しつけられたときに、ダイアフラムシートがこの押しつけられた内壁の形状に適合するよう、設定されていることを特徴とするマイクロバルブ。

IPC (4)：

B81B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  F16K 31/02 ,  F16K 31/66

FI (4)：

B81B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  F16K 31/02 Z ,  F16K 31/66

F-Term (14)：

3H057AA05 ,  3H057BB02 ,  3H057BB06 ,  3H057BB32 ,  3H057BB44 ,  3H057FA12 ,  3H062AA01 ,  3H062AA11 ,  3H062BB10 ,  3H062BB33 ,  3H062CC13 ,  3H062GG01 ,  3H062GG04 ,  3H062GG06