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J-GLOBAL ID：200903086361848192

現像液管理装置

Inventor： 中川 俊元 ,  塚田 光三 ,  小川 修 ,  塩津 信一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社平間理化研究所 ,  長瀬産業株式会社
Agent (1)： 塩出 真一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991222130
Publication number (International publication number)：1993040345
Application date： Aug. 07, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 液晶基板製造工程やプリント基板製造工程などにおいて、感光性有機樹脂の現像に用いられるアルカリ系現像液の現像性能を常時一定化するとともに、操業停止時間を大幅に短縮する。【構成】 現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度計16により検出して現像液を排出する現像液排出手段と、現像液の液面レベルを液面レベル計3により検出して現像原液と純水とを補給する第一補給手段と、現像液のアルカリ濃度を導電率計15により検出して現像原液又は純水を補給する第二補給手段とを設ける。

Claim (excerpt)：

感光性有機樹脂用現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度計(16)により検出して現像液を排出する現像液排出手段と、現像液の液面レベルを液面レベル計(3)により検出して現像原液と純水とを補給する第一補給手段と、現像液のアルカリ濃度を導電率計(15)により検出して現像原液又は純水を補給する第二補給手段とを備えたことを特徴とする現像液管理装置。

IPC (2)：

G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-030314
  
• 特開昭62-186265
  
• 特開平3-107167
  
• 特開昭62-064792
  
• 特開昭62-131368