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J-GLOBAL ID：200903086388078003

窒化珪素質焼結体およびその製造方法

Inventor： 佐藤 政宏 ,  中西 政仁 ,  坂上 勝伺 ,  福留 武郎
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995327278
Publication number (International publication number)：1997165264
Application date： Dec. 15, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】従来の窒化珪素質焼結体によれば、高い焼結体が得られる反面、これらの焼結体の被研削性が悪く、加工コストが高くなるという問題があった。【解決手段】α率が80%以下、平均粒径が2〜6μmの窒化珪素粉末、焼結助剤粉末との混合粉末を成形して得られた窒化珪素75〜95重量%、希土類元素酸化物1〜7重量%、酸化アルミニウム1〜10重量%、酸化珪素1〜8重量%の組成からなる成形体を1600〜1750°Cの窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成して、β-窒化珪素結晶相と、希土類元素、珪素、アルミニウム、酸素および窒素を含む粒界相からなる窒化珪素焼結体であって、密度が2.90〜3.15g/cm3 、ヤング率が240〜270GPa、最大ボイド径が100μm以下、靱性(KIc)が3〜6MPa・m1/2 、室温における4点曲げ強度が300〜500MPaに制御することにより快削性を高めることができる。

Claim (excerpt)：

β-窒化珪素結晶相と、希土類元素、珪素、アルミニウム、酸素および窒素を含む粒界相からなり、密度が2.90〜3.15g/cm3 、ヤング率が240〜270GPa、最大ボイド径が100μm以下、靱性(KIc)が3〜6MPa・m1/2 、室温における4点曲げ強度が300〜500MPaであることを特徴とする窒化珪素質焼結体。

IPC (2)：

C04B 35/584 ,  H01L 21/02

FI (2)：

C04B 35/58 102 D ,  H01L 21/02 Z