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J-GLOBAL ID：200903086424255790

エッチングあるいはコーティング装置

Inventor：
ベレルディック クラウス ドクター

About ベレルディック クラウス ドクター


Applicant, Patent owner：
ウンアクシス バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト

About ウンアクシス バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト


Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002199121
Publication number (International publication number)：2003157999
Application date： Jul. 05, 1991
Publication date： May. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】 できるだけ構造が簡単で、従来の欠点を除去したエッチングあるいはコーティング装置およびその方法を得ることを目的とする。【解決手段】 容量的にプラズマを発生させる互いに離れた1対の電極とプラズマ内に誘導性のエネルギを結合するコイル装置とを備えた三極管エッチングあるいはコーティング装置を点火するために、まず電極間でプラズマが容量的に発生され、その後さらに誘導エネルギが結合される。
Claim (excerpt)：
容量的にプラズマを発生させる互いに離れた1対の電極とプラズマ内に誘導性のエネルギを結合するコイル装置とを備えた三極管エッチングあるいはコーティング装置を点火する方法において、まず電極間でプラズマが容量的に発生され、その後さらに誘導エネルギが結合されることを特徴とする三極管エッチングあるいはコーティング装置を点火する方法。
IPC (6)：
H05H 1/46 ,  B01J 19/08 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (6)：
H05H 1/46 A ,  B01J 19/08 H ,  C23C 14/34 Z ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 101 B
F-Term (26)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4K029CA05 ,  4K029EA06 ,  4K030FA03 ,  4K030FA04 ,  4K030KA30 ,  5F004BA04 ,  5F004BA20 ,  5F004BD04 ,  5F004CA03 ,  5F004CA07 ,  5F045AA08 ,  5F045DP02 ,  5F045EB02 ,  5F045EC01 ,  5F045EH06 ,  5F045EH11 ,  5F045EH13 ,  5F045EH19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開昭57-027033
  • 特開昭57-026441
  • 特開昭58-163435
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