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J-GLOBAL ID：200903086436548920

エッチング液

Inventor： 渡▲辺▼ 和廣 ,  野村 和正 ,  星野 淳之 ,  喜田 哲也 ,  坂本 武志
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992296238
Publication number (International publication number)：1994146019
Application date： Nov. 06, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 エッチング液に関し、CrとAlの同時エッチングが可能なエッチング液の実用化を目的とする。【構成】 硝酸セリウムアンモニウムと硝酸アンモニウムおよび水よりなるCrのエッチング液に塩酸を添加し、CrとAlの一括エッチングを可能にしたことを特徴としてエッチング液を構成する。

Claim (excerpt)：

硝酸セリウムアンモニウムと硝酸アンモニウムおよび水よりなるクロームのエッチング液に塩酸を添加し、クロームとアルミニウムの一括エッチングを可能にしたことを特徴とするエッチング液。

IPC (3)：

C23F 1/20 ,  C23F 1/26 ,  H01L 21/308