レーザ顕微鏡

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山村喜信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995168344
Publication number (International publication number)：1996210819
Application date： Jun. 09, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】光検出器のピーク光量が小さくなるような表面を有する試料についても、表面形状を誤ることなく把握し得るレーザ顕微鏡を提供する。【構成】共焦点光学系を有するレーザ顕微鏡において、ピーク光量Ipが所定の下限レベルIDCよりも小さいか否かを判別して、ピーク位置Zpの情報が不確かな部分Aについては、たとえばデータを表示せずに、確かなピーク位置(表面形状)のみをモニタに表示する。

Claim (excerpt)：

対物レンズに対して相対的に上下動する試料ステージと、レーザ光を上記対物レンズにより試料の表面に集光すると共に、その反射光を光検出器表面に集光して受光させる共焦点光学系とを備え、ピークの受光光量の生じたピーク位置に基づいて試料の深度に関する情報をモニタに表示するレーザ顕微鏡において、光量の下限レベルを記憶する下限レベル記憶部と、上記ピークの受光光量を上記下限レベルと比較してピークの受光光量が下限レベルよりも大きいか否かを判別する下限判別手段とを備えたレーザ顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 11/22 , G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-063907
特開昭60-068308
特開平4-087246

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