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J-GLOBAL ID：200903086489613490

レジスト成分からの金属不純物除去方法

Inventor： ケンジ・ホンダ ,  エドワード・エイ・フイツツジエラルド ,  ロレンス・フエレイラ
Applicant, Patent owner： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992234494
Publication number (International publication number)：1993234876
Application date： Sep. 02, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レジスト成分から金属不純物をとり除くための方法の提供。【構成】 (a) 溶媒中にレジスト成分を溶解し;(b) 前記レジスト成分溶液をカチオン交換樹脂とキレート樹脂に充分な時間接触させて、前記カチオン交換およびキレート樹脂上に金属不純物の少なくとも一部を吸着させ;そして(c) 前記レジスト成分溶液からの金属不純物を担持している前記カチオン交換およびキレート樹脂を分離するの各工程を特徴とする。

Claim (excerpt)：

(a) 溶媒中にレジスト成分を溶解し;(b) 前記レジスト成分溶液をカチオン交換樹脂とキレート樹脂に充分な時間接触させて、前記カチオン交換およびキレート樹脂上に金属不純物の少なくとも一部を吸着させ;そして(c) 前記レジスト成分溶液から金属不純物を担持している前記カチオン交換およびキレート樹脂を分離するの各工程を特徴とするレジスト成分から金属不純物を除去する方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/004 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 特開昭63-126502
  
• 特開昭59-176303
  
• 特開昭49-028687
  
• 特開昭64-056148
  
• 特開昭56-024042
  
• 特表平2-501367
  
• 特開平4-298507