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J-GLOBAL ID：200903086508670777

化学増幅型レジスト組成物

Inventor：
花元 幸夫

About 花元 幸夫

, 
桑名 耕治

About 桑名 耕治

, 
山本 敏

About 山本 敏


Applicant, Patent owner：
住友化学工業株式会社

About 住友化学工業株式会社


Agent (3)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004091365
Publication number (International publication number)：2004326092
Application date： Mar. 26, 2004
Publication date： Nov. 18, 2004
Summary：
【課題】優れた濾過特性を有し、シリコンウェハー上の欠陥の数が大幅に低減できる化学増幅型レジスト組成物及び該レジスト用樹脂組成物の製造方法を提供する。【解決手段】〔1〕粗樹脂(1)を活性炭と接触させることにより得られる処理済樹脂(1)、酸発生剤及び溶媒を含み、該樹脂(1)は、(a)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性の樹脂であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となる樹脂で、脂環式炭化水素基を側鎖に有する繰り返し単位を含む(メタ)アクリル系樹脂又は(b)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となるヒドロキシスチレンに由来する繰り返し単位を含むスチレン系樹脂である化学増幅型レジスト組成物。〔2〕粗樹脂(1)を活性炭と接触させて処理済樹脂(1)を得て、処理済樹脂(1)、酸発生剤及び有機溶媒を混合する工程を含む化学増幅型レジスト組成物の製造方法。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
粗樹脂(1)を活性炭と接触させることにより得られる処理済樹脂(1)、酸発生剤及び溶媒を含み、該樹脂(1)は、(a)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性の樹脂であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となる(メタ)アクリル系樹脂であって、かつ脂環式炭化水素基を側鎖に有する繰り返し単位を含む(メタ)アクリル系樹脂(以下、樹脂(a)と記す)又は(b)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となるスチレン系樹脂であって、かつヒドロキシスチレンに由来する繰り返し単位を含むスチレン系樹脂(以下、樹脂(b)と記す)であることを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。
IPC (3)：
G03F7/039 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027
FI (3)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R
F-Term (12)：
2H025AA00 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • レジスト組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-015401   Applicant：和光純薬工業株式会社, 住友化学工業株式会社
  • 化学増幅型ポジ型レジスト組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-315265   Applicant：住友化学工業株式会社
Cited by examiner (4)
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