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J-GLOBAL ID：200903086518944000

新規モノマー、ポリマー、それらの合成方法及びフォトレジスト組成物

Inventor： ジョージ・ジー・バークレー ,  ワン・ユエ ,  ジョセフ・マティア
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 千田 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001050311
Publication number (International publication number)：2002003447
Application date： Feb. 26, 2001
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】新規な脂環式のエステル化されたノルボルネンカルボキシレートモノマー、ポリマー及びレジンバインダーとしてそのポリマーを含むフォトレジスト組成物、およびそのモノマー及びポリマーの合成方法を提供する。【解決手段】a)脂環式アルコールとα,β-不飽和化合物とを反応させて、α,β-不飽和エステルを製造し、b)α,β-不飽和エステルとジエンとを反応させてノルボルネン化合物を製造することを含む一般式IIの置換ノルボルネン化合物の調製方法。工程a)及びb)はジエンとの反応前にα,β-不飽和エステルを分離することなく遂行される方法で、具体例はスキーム11による、式7のモノマー化合物の調製がある。[Xは第3級脂環式基である。]

Claim (excerpt)：

a)脂環式アルコールとα,β-不飽和化合物とを反応させて、α,β-不飽和エステルを提供し;b)α,β-不飽和エステルとジエンとを反応させてノルボルネン化合物を提供することを含む置換ノルボルネン化合物の調製方法であって、工程a)及びb)は、ジエンとの反応前にα,β-不飽和エステルを分離することなく遂行される方法。

IPC (16)：

C07C 67/347 ,  C07C 35/06 ,  C07C 35/08 ,  C07C 35/24 ,  C07C 35/27 ,  C07C 35/30 ,  C07C 35/37 ,  C07C 69/013 ,  C07C 69/753 ,  C08F 32/04 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C07C 29/40 ,  C07C 67/14 ,  C07C 69/54

FI (16)：

C07C 67/347 ,  C07C 35/06 ,  C07C 35/08 ,  C07C 35/24 ,  C07C 35/27 ,  C07C 35/30 ,  C07C 35/37 ,  C07C 69/013 D ,  C07C 69/753 Z ,  C08F 32/04 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/039 601 ,  C07C 29/40 ,  C07C 67/14 ,  C07C 69/54 B ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (41)：

2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006AC28 ,  4H006AC41 ,  4H006AC48 ,  4H006BJ30 ,  4J100AJ02R ,  4J100AK31P ,  4J100AK32P ,  4J100AL03R ,  4J100AL03S ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL09R ,  4J100AM02S ,  4J100AR11Q ,  4J100AR11R ,  4J100AR11S ,  4J100BA11R ,  4J100BA20Q ,  4J100BB18Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC07S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09S ,  4J100BC12Q ,  4J100BC53R