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J-GLOBAL ID：200903086528023190
内部欠陥寸法の測定方法およびその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長瀬 成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000396880
Publication number (International publication number)：2002195987
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：
【要約】【課題】被測定体中に励起される屈曲振動する超音波(ラム波)を用いて、一様平板や積層平板の剥離状欠陥寸法を測定できる内部欠陥寸法の測定方法を提供する。【解決手段】 被測定体中に屈曲振動する超音波(ラム波)を励起し、被測定体表面に平行で屈曲振動伝播方向に伸びる内部欠陥によって起こる繰り返し波の時間差を計測し、その時間差と屈曲振動伝播速度から被測定体内部欠陥の大きさを測定することを特徴とする内部欠陥寸法の測定法方法。
Claim (excerpt)：
被測定体中に屈曲振動する超音波(ラム波)を励起し、被測定体表面に平行で屈曲振動伝播方向に伸びる内部欠陥によって起こる繰り返し波の時間差を計測し、その時間差と屈曲振動伝播速度から被測定体内部欠陥の大きさを測定することを特徴とする内部欠陥寸法の測定法方法。
F-Term (5)：
2G047AB04
, 2G047AB05
, 2G047BC02
, 2G047CB04
, 2G047EA12
