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J-GLOBAL ID：200903086528919968

精密洗浄剤組成物

Inventor： 長 俊連 ,  窪川 和男
Applicant, Patent owner： 多摩化学工業株式会社
Agent (1)： 成瀬 勝夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999127104
Publication number (International publication number)：2000319699
Application date： May. 07, 1999
Publication date： Nov. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高度の表面清浄度が要求されるガラスやウエーハ等の被洗浄物の洗浄工程で用いられ、これら被洗浄物の表面にヤケや潜傷等のダメージを与えることがなく、しかも、洗浄後の被洗浄物表面に悪影響を与える金属イオンやハロゲンイオン等の有害陰イオンを実質的に含まない精密洗浄剤組成物を提供する。【解決手段】 炭酸第四級アンモニウムと水酸化第四級アンモニウムとを主成分とし、pH調整剤として有機酸を含む洗浄用水溶液からなり、必要によりノニオン系界面活性剤及びアニオン系界面活性剤から選ばれた少なくとも1種の界面活性剤又は金属イオンと錯化合物を形成する錯化剤を含み、実質的に金属イオンを含まない精密洗浄剤組成物である。

Claim (excerpt)：

炭酸第四級アンモニウムと水酸化第四級アンモニウムとを主成分とし、pH調整剤として有機酸を含む洗浄用水溶液からなり、実質的に金属イオンを含まないことを特徴とする精密洗浄剤組成物。

IPC (5)：

C11D 17/08 ,  B08B 3/08 ,  C11D 3/26 ,  C11D 7/32 ,  H01L 21/304 647

FI (5)：

C11D 17/08 ,  B08B 3/08 Z ,  C11D 3/26 ,  C11D 7/32 ,  H01L 21/304 647 B

F-Term (25)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB96 ,  3B201CB01 ,  3B201CC01 ,  3B201CC13 ,  3B201CC21 ,  4H003AB27 ,  4H003AB46 ,  4H003AC23 ,  4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003DA16 ,  4H003EB07 ,  4H003EB08 ,  4H003EB13 ,  4H003EB16 ,  4H003EB19 ,  4H003ED02 ,  4H003FA07 ,  4H003FA21 ,  4H003FA28