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J-GLOBAL ID:200903086534035060
セラミツクスヒータ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
足立 勉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991209489
Publication number (International publication number):1993051275
Application date: Aug. 21, 1991
Publication date: Mar. 02, 1993
Summary:
【要約】【目的】 マイグレーションの発生を防止して、ヒータ電極の断線や抵抗変化を防止するセラミックスヒータを提供すること。【構成】 ヒータ基板1のセラミックスとして、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属の含有量が0.1重量%以下の高純度アルミナを用い、また、導電材料及びセラミックス添加剤からなるヒータ電極2のセラミックス添加剤として、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属の含有量が0.07重量%以下の酸化物を用い、それらを同時焼成して形成したセラミックスヒータ。
Claim (excerpt):
セラミックスからなるヒータ基板と、導電材料及びセラミックス添加剤からなるヒータ電極と、を同時に焼成するセラミックスヒータにおいて、前記ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属の含有量が0.07重量%以下の酸化物を用いたことを特徴とするセラミックスヒータ。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭63-096884
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特公平3-050397
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特開昭60-212986
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