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J-GLOBAL ID:200903086535205458
マイクロコーナーキューブ・マイクロコーナーキューブアレイおよびこれらの製造方法およびマイクロコーナーキューブアレイを用いる表示装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
樺山 亨 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994001130
Publication number (International publication number):1995205322
Application date: Jan. 11, 1994
Publication date: Aug. 08, 1995
Summary:
【要約】【目的】マイクロコーナーキューブの製造方法を提供する。【構成】透明基板10の表面に所定の厚さに形成されたフォトレジスト20の層に、正三角形の中心から各辺に向かって透過率もしくは遮光率が次第に減少する微小なマスク30を用いて露光を行い、現像により、三角錐状の微小な突起20’をフォトレジストにより形成し、その後、異方性のエッチングを行うことにより、フォトレジストの形状20’を透明基板10に彫り写すことにより、2等辺直角三角形を3面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状の微小な突起10’を透明基板10の一部として形成する。
Claim (excerpt):
透明基板の一方の面に、2等辺直角三角形を3面、互いに直交的に組み合わせてなる三角錐状の微小な突起を、透明基板の一部として形成してなるマイクロコーナーキューブ。
IPC (4):
B29D 11/00
, B29C 69/00
, G02B 5/124
, B29K105:32
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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