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J-GLOBAL ID:200903086539481255

Mn系ペロフスカイト酸化物薄膜の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995235925
Publication number (International publication number):1997059022
Application date: Aug. 23, 1995
Publication date: Mar. 04, 1997
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 巨大磁気抵抗効果を有するMn系ペロブスカイト酸化物薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 一般式AMnO3(但し、AはLa、Pr、Ca、Srの群から選ばれる1種以上の金属からなる)で示されるペロブスカイト型酸化物の金属AのアルコキシドとMnのアルコキシドあるいはアセチルアセトナートの有機溶媒溶液あるいは前記溶液に金属の原子価に対して1.5以下の割合の水を添加して部分加水分解した溶液を基板に塗布した後、乾燥・焼成してMn系ペロブスカイト酸化物薄膜を製造する。
Claim (excerpt):
一般式AMnO3(但し、AはLa、Pr、Ca、Srの群から選ばれる1種以上の金属からなる)で示されるペロフスカイト型酸化物の薄膜を製造する方法において、金属AのアルコキシドとMnのアルコキシドの有機溶媒溶液あるいは前記溶液に金属の原子価に対して1.5以下の割合の水を添加して部分加水分解した溶液を基板に塗布した後、乾燥・焼成することを特徴とするMn系ペロフスカイト酸化物薄膜の製造方法。

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