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J-GLOBAL ID：200903086551572193

ポリマーおよびフォトレジスト組成物

Inventor： アンソニー・ザムピニ ,  ジョージ・ジー・バークレー
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 千田 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001050207
Publication number (International publication number)：2001323031
Application date： Feb. 26, 2001
Publication date： Nov. 20, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 短波長で画像形成でき、膨潤性が減少したレジンバインダーを含み、公知のフォトレジスト組成物よりも優れた基体接着性を有するフォトレジスト組成物の提供。【解決手段】 1以上のペンダント環状電子吸引基を有する1以上の環状オレフィンモノマーを重合単位として含むポリマー、そのようなポリマーの調製方法、そのようなポリマーを樹脂バインダーとして含むフォトレジスト組成物、およびそのようなフォトレジスト組成物を使用してレリーフイメージを形成する方法。

Claim (excerpt)：

以下の式を有する環状オレフィンモノマーの1以上の重合された単位:【化1】[式中、A=O、S、CH2 及びNR1;R1=フェニル、置換フェニル、ベンジル、置換ベンジル、(C1〜C8)アルキル及び置換(C1〜C8)アルキル;G=C(Z’)、O,S及びNR2;R2=(C1〜C8)アルキル及び置換(C1〜C8)アルキル;E及びWは、C(Z’)、O、NR2及び化学結合より独立に選択される;Z’=O又はS;Qは化学結合または結合基;n=0から3;m=0から2;m’=0から2;l=0から5;及びp=0から5;但し、l+p=3から5;但し、A=O、S又はNR1のとき、n=1;ここで、T及びLは一緒になって、二重結合又は5〜8員不飽和環から選択される]および任意の1以上のエチレン性またはアセチレン性不飽和モノマーの重合された単位を有するポリマー。

IPC (7)：

C08F232/04 ,  C08F 4/26 ,  C08F 4/28 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (7)：

C08F232/04 ,  C08F 4/26 ,  C08F 4/28 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R