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J-GLOBAL ID：200903086566489985
欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994010777
Publication number (International publication number)：1995218448
Application date： Feb. 02, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：
【要約】【目的】 カラーフィルタ基板の複数種類の異なる色のカラーフィルタ上の欠陥をそれぞれ同じ検出感度で、高速且つ正確に検査する。【構成】 白色光源8からの光でカラーフィルタ基板1を照明し、透過光を対物レンズ12を介して赤色フィルタ14R、緑色フィルタ14G及び青色フィルタ14Bに導き、これらフィルタ14R〜14Bを透過した光をそれぞれ結像レンズ15R〜15Bを介して2次元撮像素子16R〜16Bに導く。2次元撮像素子16R〜16Bの撮像信号をそれぞれ2値化回路17R〜17Bにおいて、各カラーフィルタの色毎に設定された閾値信号と比較することにより、各色のカラーフィルタの欠陥検査を行う。
Claim (excerpt)：
色の異なる複数種類のカラーフィルタを有する被検物上の欠陥を検査する装置において、前記被検物上の検査対象領域に検査用の光を照射する照射手段と、前記検査対象領域からの光を受光する光電変換手段と、該光電変換手段が受光する光の色に応じた閾値と前記光電変換手段の光電変換信号とを比較する比較手段と、を有し、前記比較手段の比較結果に基づいて前記被検物上の欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2)：
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