カラーフィルタの製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋国則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993215081
Publication number (International publication number)：1994208021
Application date： Aug. 06, 1993
Publication date： Jul. 26, 1994
Summary：

【要約】【目的】色素として染料を用いたカラーレジスト法を提供することによって、固体撮像素子用のカラーフィルタの製造にカラーレジスト法を適応させ、固体撮像素子の製造工程の簡略化を図ることを目的とする。【構成】染料を分散させた光重合型の感光性組成物を基材1上に塗布して着色層2を形成する。その後、着色層2をリソグラフィー法によってパターン化し、基材1上に着色パターン2aを形成する。次いで、基材1を60°Cから200°Cの範囲で昇温加熱しながら着色パターン2aに光6を照射して着色パターン2aを硬化させる。これによって、より低温で着色パターンを硬化させ染料の変質を防止する。

Claim (excerpt)：

着色した感光性組成物をパターン化した着色パターンよりなるカラーフィルタの製造方法であって、染料を含有する光重合型の感光性組成物を、基材上に塗布して着色層を形成する工程と、前記着色層をリソグラフィー法によってパターン化し、前記基材上に着色パターンを形成する工程と、前記基材を加熱しながら前記着色パターンに光を照射して、当該着色パターンを硬化させる工程とを行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2)：

G02B 5/20 101 , H01L 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開平1-109302
特開平4-301802
カラーフイルタ用着色ペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-161833 Applicant：東レ株式会社

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