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J-GLOBAL ID：200903086575501459
カラーフィルタの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 国則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993215081
Publication number (International publication number)：1994208021
Application date： Aug. 06, 1993
Publication date： Jul. 26, 1994
Summary：
【要約】【目的】 色素として染料を用いたカラーレジスト法を提供することによって、固体撮像素子用のカラーフィルタの製造にカラーレジスト法を適応させ、固体撮像素子の製造工程の簡略化を図ることを目的とする。【構成】 染料を分散させた光重合型の感光性組成物を基材1上に塗布して着色層2を形成する。その後、着色層2をリソグラフィー法によってパターン化し、基材1上に着色パターン2aを形成する。次いで、基材1を60°Cから200°Cの範囲で昇温加熱しながら着色パターン2aに光6を照射して着色パターン2aを硬化させる。これによって、より低温で着色パターンを硬化させ染料の変質を防止する。
Claim (excerpt)：
着色した感光性組成物をパターン化した着色パターンよりなるカラーフィルタの製造方法であって、染料を含有する光重合型の感光性組成物を、基材上に塗布して着色層を形成する工程と、前記着色層をリソグラフィー法によってパターン化し、前記基材上に着色パターンを形成する工程と、前記基材を加熱しながら前記着色パターンに光を照射して、当該着色パターンを硬化させる工程とを行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (2)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
