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J-GLOBAL ID:200903086585079500
半導体材料の熱電特性評価方法および評価装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000329464
Publication number (International publication number):2002131260
Application date: Oct. 27, 2000
Publication date: May. 09, 2002
Summary:
【要約】【目的】 ペルチェ効果を利用した半導体材料熱電特性比較を実施することにより、短時間で正確に熱電材料特性を評価し、さらに材料探索、品質管理を簡便かつ迅速に行うことができる手法を提供すること。【構成】 通電させたときの半導体材料のペルチェ効果による吸/発熱に起因する半導体材料表面の温度変化を赤外線により撮像し、撮像された赤外線撮像を画像処理して熱電材料特性を判定、評価することを特徴とする半導体材料の熱電特性評価方法。
Claim (excerpt):
複数の半導体材料の熱電特性評価方法において、前記半導体材料に電流を流し、通電したときの半導体材料のペルチェ効果による吸/発熱に起因する半導体材料表面の温度変化を赤外線により撮像し、撮像された赤外線撮像を画像処理して熱電材料特性の大小を判定、評価することを特徴とする半導体材料の熱電特性評価方法。
IPC (5):
G01N 25/72
, G01J 5/48
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 35/32
FI (5):
G01N 25/72 G
, G01J 5/48 C
, G01R 31/26 F
, H01L 21/66 L
, H01L 35/32 Z
F-Term (36):
2G003AA00
, 2G003AB16
, 2G003AC03
, 2G003AD03
, 2G003AE01
, 2G003AF06
, 2G003AH01
, 2G003AH04
, 2G003AH05
, 2G040AA00
, 2G040AA05
, 2G040AB08
, 2G040AB12
, 2G040BA27
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA06
, 2G040EA07
, 2G040EB02
, 2G040EC03
, 2G040HA02
, 2G066AC07
, 2G066BC21
, 2G066CA02
, 2G066CA11
, 4M106AA20
, 4M106BA08
, 4M106BA14
, 4M106CA70
, 4M106DH01
, 4M106DH13
, 4M106DH14
, 4M106DH60
, 4M106DJ20
, 4M106DJ23
, 4M106DJ38
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