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J-GLOBAL ID：200903086595446292

表面改質方法

Inventor： 林 和範 ,  佐々木 純
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 大島 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993036117
Publication number (International publication number)：1994228750
Application date： Feb. 01, 1993
Publication date： Aug. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 チタンイオン注入によって鉄鋼材料の表面の耐摩耗性を改善する方法に於て、真空中に残留した炭素含有ガスの被処理材への吸着を促進し、注入表面の炭素の取り込み量を増加させる。【構成】 被処理材5を試料ホルダ2に取り付け、処理チャンバ1を真空排気後、冷却装置3を起動し、試料温度を200 ゚K以下に保ち、チタンイオン注入を行う。チタンの注入量は1×1017atoms/cm2以上であって、かつ2×1018atoms/cm2以下が望ましい。【効果】 被処理材を200 ゚K以下に冷却することで、真空中に残留する炭素含有ガスの吸着が促進されるため、注入層への炭素の取り込み量が増加し、耐摩耗性に優れた表層を形成することができる。

Claim (excerpt)：

鉄鋼材料の表面の耐摩耗性を改善するべく該鉄鋼材料にチタンイオンを注入する表面改質方法に於て、真空中に残留する炭素含有ガスの被処理材への取り込みを促進するべく、イオン注入時の被処理材の温度を200 ゚K以下に保った状態で前記被処理材に対するチタンイオンの注入を行うことを特徴とする表面改質方法。