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J-GLOBAL ID:200903086614925830

半導体装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高田 守 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991270864
Publication number (International publication number):1993109977
Application date: Oct. 18, 1991
Publication date: Apr. 30, 1993
Summary:
【要約】【目的】 多端子で、回路部分の面積の小さなICチップの空きスペースをなくすとともに、多様な種類のICチップからなる半導体装置を得る。【構成】 ワイヤボンディングパッド1とICチップAを接続するためのパッド2が設けられ、このパッド2上に貴金属からなるバンプ3をその厚みを10μm以下に形成したICチップBと、パッド2に対応するパッド5が設けられたICチップAとを有し、ICチップAのパッド5をバンブ3を介してICチップBのパッド2に熱圧着したことを特徴としている。【効果】 多端子で、かつ回路部分の小さなICチップ上の空きスペースを効果的になくすことができ、同種,または異種のICチップの複合化が容易となる。
Claim (excerpt):
周縁部にパッドが形成された少なくとも1個のICチップAと、このICチップAの前記パッドの各々またはその一部のパッドに対応して重ね合う位置にパッドをもち、かつワイヤボンドのために十分な大きさのワイヤボンディングパッドを周縁部にもつICチップBとが、前記ICチップAのパッドとICチップBのパッドのいずれか一方、もしくは双方のパッド上に形成された貴金属からなるバンプにより熱圧着されていることを特徴とする半導体装置。
IPC (3):
H01L 25/065 ,  H01L 25/07 ,  H01L 25/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開昭59-117252
  • 特開平1-157561
  • 特開昭59-079561
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