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J-GLOBAL ID：200903086632220860

ウエハ把持装置

Inventor： 槙本 博之 ,  坂口 勝紀
Applicant, Patent owner： 新明和工業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998021997
Publication number (International publication number)：1999220002
Application date： Feb. 03, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 ウエハ処理工程で生じたカセットの変形や各ウエハの引掛かりにより、その収容位置にばらつきがあっても、それらウエハを確実に把持して取り出すようにする。【解決手段】 ハンド本体2の左右両側に、ハンド1の前進によりウエハW外周縁部を押圧してウエハWをカセットCの内奥面C1に当接する位置まで移動させる押えローラ36を外側に拡開可能に設け、この押えローラ36の支持部33の薄肉部33aが発光部から受光部に至る光路Lを遮る位置まで変位した状態を、各ウエハWを把持可能な正常位置と判別する。

Claim (excerpt)：

カセット内に収容されているウエハを把持して取り出すロボットに設けられるウエハ把持装置であって、ロボットアームに連結されるハンドと、上記ハンドに設けられ、ウエハを把持する把持手段と、上記ハンドに設けられ、ハンドの前進移動によりウエハの外周縁部を押圧して該ウエハをカセットの内奥面に当接する位置まで移動させる押え部材とを備え、上記押え部材はハンドに対し、上記ウエハからの押圧によりウエハの中央に対し離隔する外方向に変位可能に支持されており、上記押え部材が変位したことを検出する検出手段を備えたことを特徴とするウエハ把持装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 K ,  B65G 49/07 F