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J-GLOBAL ID：200903086639095980

金属成分含有溶液及び金属薄膜形成方法

Inventor：
福永 明

About 福永 明

, 
長澤 浩

About 長澤 浩


Applicant, Patent owner：
株式会社荏原製作所

About 株式会社荏原製作所


Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999350325
Publication number (International publication number)：2001167633
Application date： Dec. 09, 1999
Publication date： Jun. 22, 2001
Summary：
【要約】【課題】 十分な導電率を持ち膜厚の調整が容易な金属薄膜を安価かつ容易に製造するのに使用される金属成分含有溶液及び該溶液を用いた金属薄膜製造方法を提供する。【解決手段】 平均粒径が1〜10nmの実質的に金属成分からなるコア部と該コア部に化学的に結合した有機物からなる被覆層とからなる複合金属超微粒子と、平均粒径が1〜10μmの金属粉末22とを溶媒に均一に分散させた金属成分含有溶液24を用意する工程と、金属成分含有溶液24を基板30の表面に接触させる工程と、基板30の表面に付着した金属成分含有溶液24の溶媒を蒸発させて超微粒子コーティング層32を形成する工程と、超微粒子コーティング層32を熱分解して膜厚が10〜1000μmの範囲の金属薄膜34を形成する工程とを有する。
Claim (excerpt)：
平均粒径が1〜10nmの実質的に金属成分からなるコア部と、該コア部に化学的に結合した有機物からなる被覆層とからなる複合金属超微粒子を溶媒に均一に分散させたことを特徴とする金属成分含有溶液。
IPC (6)：
H01B 1/22 ,  C23C 18/08 ,  C23C 20/04 ,  H01B 1/00 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/288
FI (6)：
H01B 1/22 Z ,  C23C 18/08 ,  C23C 20/04 ,  H01B 1/00 M ,  H01B 13/00 503 C ,  H01L 21/288 Z
F-Term (38)：
4K022AA05 ,  4K022BA01 ,  4K022BA02 ,  4K022BA03 ,  4K022BA06 ,  4K022BA07 ,  4K022BA08 ,  4K022BA09 ,  4K022BA10 ,  4K022BA12 ,  4K022BA14 ,  4K022BA17 ,  4K022BA18 ,  4K022BA20 ,  4K022BA21 ,  4K022BA22 ,  4K022BA23 ,  4K022BA24 ,  4K022BA25 ,  4K022BA28 ,  4K022BA31 ,  4K022BA32 ,  4K022DA06 ,  4K022DB19 ,  4K022DB29 ,  4M104AA01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB08 ,  4M104CC01 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104HH16 ,  5G301DA02 ,  5G301DA03 ,  5G301DA05 ,  5G301DA06 ,  5G301DA22 ,  5G301DD01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 特開昭59-167906
  • 特開昭59-167906
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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