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J-GLOBAL ID：200903086666523714

走査型探針顕微鏡及びその制御方法

Inventor： 加道 博行 ,  山本 伸一 ,  任田 隆夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993175422
Publication number (International publication number)：1995027560
Application date： Jul. 15, 1993
Publication date： Jan. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 探針1と試料3の表面との間に発生する摩擦力に影響されることなく、また探針1が試料3の表面の急峻な斜面をすべり落ちることなく、表面形状を安定に精度良く測定するための走査型探針顕微鏡及びその制御方法を提供する。【構成】 探針1を試料3の表面へ接近させた時の、カンチレバー2の自由端2aのたわみ量及びねじれ量を検出し、たわみ量とねじれ量とから演算される値が設定値以上になった時のカンチレバー2の試料3への接近距離を測定する。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの自由端近傍に備えられた探針を、物質表面に接近もしくは接触させ、前記探針と前記物質表面との間に生じる力を、前記物質表面の各測定点で検出しながら、前記物質表面を走査する走査型探針顕微鏡であって、前記カンチレバー自由端のねじれ量及びたわみ量の検出機構を具備し、前記各測定点において、前記探針と前記物質表面とが離れた状態から、前記物質表面と前記カンチレバーとを相対的に接近させ、前記検出機構により検出されたカンチレバー自由端のたわみ量及びねじれ量から演算された値が所定の設定値になった時点における前記物質表面と前記カンチレバーとの相対的接近距離を測定する走査型探針顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G05D 3/00 ,  H01J 37/28