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J-GLOBAL ID:200903086689516901

複数のヒューズを有する半導体装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森 哲也 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994059429
Publication number (International publication number):1995273200
Application date: Mar. 29, 1994
Publication date: Oct. 20, 1995
Summary:
【要約】【目的】ヒューズの切断区域以外の半導体の損傷を最小限に抑え、且つ隣接するヒューズの切断を防止する。【構成】並列に配置されたヒューズ1,2および3をヒューズ切断用のレーザビームを反射可能な反射板4で覆い、反射板4に各ヒューズ1,2および3に対応してビーム照射窓12,22および32を開口し、且つそれら隣合った2つのビーム照射窓12と22および22と32はそれらヒューズ1,2および3の長手方向の一部が露出するように配置した。そして、半導体装置100の上方から任意のビーム照射窓12,22または32に個別にレーザビームを照射して、ビーム照射窓12,22または32下のヒューズ1,2または3を切断する。
Claim (excerpt):
並列に配置された複数のヒューズを有する半導体装置において、前記複数のヒューズを、ヒューズ切断用ビームを反射可能な反射板で覆い、この反射板に前記各ヒューズに対応して複数のビーム照射窓を開口し、且つそれら複数のビーム照射窓の隣合った2つのビーム照射窓をヒューズの長手方向にずらして配置したことを特徴とする複数のヒューズを有する半導体装置。

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