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J-GLOBAL ID：200903086694146225
プラズマエッチング電極、その治具及びそれらの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 雅人 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993265773
Publication number (International publication number)：1995099183
Application date： Sep. 28, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 従来技術の問題点を解消し、緻密且つ均質な組織を有し、しかもプラズマエッチング加工をする際に粒体が脱落して消耗を早めたり、ウエハを汚損してパターン形成を阻害したりすることのないプラズマエッチング電極及びその治具を提供する。【構成】 本発明のプラズマエッチング電極及び治具は、炭素化されたポリカルボジイミド樹脂により被覆されていることを特徴とするものであり、又、その製造方法の発明は、プラズマエッチング電極及び治具をポリカルボジイミド樹脂により被覆し、次いで不活性雰囲気中で前記ポリカルボジイミド樹脂を炭素化することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
炭素化されたポリカルボジイミド樹脂により被覆されていることを特徴とするプラズマエッチング電極及び治具。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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