Pat

J-GLOBAL ID：200903086696143860

鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液および化学研磨方法

Inventor： 佐藤 孝彰 ,  安田 聡
Applicant, Patent owner： 日本表面化学株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996330159
Publication number (International publication number)：1998158869
Application date： Nov. 27, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 有害なNOxガスなどの発生がなく、しかも弗素及び有害物質などを含まない作業環境性、排水処理性の優れた鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液を提供する。また鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金表面に良好で均一な光沢性、平滑性を付与する化学研磨液及び化学研磨方法を提供する。【解決手段】 過酸化水素85〜200g/l、硫酸100〜830g/lを成分とする酸性溶液と光沢強化剤を0.01〜50g/lを含有する鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液。光沢強化剤は界面活性剤、アルコール又はエーテル、有機酸又はこの化合物からなる群から選ばれた1種又は2種以上である。

Claim (excerpt)：

過酸化水素85〜200g/l、硫酸100〜830g/lを成分として含有する、鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液。